| 원래 장소: | 중국 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | BAXIT |
| 인증: | CE |
| 모델 번호: | BXT-MPCVD |
| 최소 주문 수량: | 1 (민. 명령하세요) |
| 가격: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| 배달 시간: | 0 일 |
| 지불 조건: | L/C (신용장), 전신환, 인수 인도, D/P (지급도 조건) |
| 공급 능력: | 5 |
| 동작 주파수: | 2450MHz | 출력 전원: | 0.1 끊임없이 조정할 수 있는 ~ 6 kW |
|---|---|---|---|
| 출력 안정도: | ±1% (@ 평가된 상태)보다 더 좋습니다 | 출력 도파관 인터페이스: | FD-26/22 표준 후란지와 BJ-26/22 |
| 전원 입력: | 380VAC/50Hz, 3개 단계 5 와이어, 11kW | 냉각수 순환량: | 18L/min |
| 시스템 정재파 계수: | 전압 정재파비 ≤ 1.5 | 전자 레인지 누출: | 국가 표준을 충족시키세요 |
| 사이즈와 워킹 모드: | Φ200 Ｘ 300 (H) TM 모드 |
| 마이크로웨이브 발생기와 시스템 | 동작 주파수 | 2450MHz |
| 출력 전원 | 0.1 끊임없이 조정할 수 있는 ~ 6 kW | |
| 출력 안정도 | ±1% (@ 평가된 상태)보다 더 좋습니다 | |
| 출력 도파관 인터페이스 | FD-26/22 표준 후란지와 BJ-26/22 | |
| 전원 입력 | 380VAC/50Hz, 3개 단계 5 와이어, 11kW | |
| 냉각수 순환량 | 18L/min | |
| 시스템 정재파 계수 | 전압 정재파비 ≤ 1.5 | |
| 전자 레인지 누출 | 국가 표준을 충족시키세요 | |
| 진공 방전 챔버를 전자레인지로 가열하세요 | 사이즈와 워킹 모드 | Φ200 Ｘ 300 (H) TM 모드 |
| 유효 부착 지역 | Φ50mm | |
| 압력 제어기 범위 | 0.5KPa~30KPa | |
| 압력 제어기 정확도 | ±15Pa | |
| 진공 인수 | 단결정 성장 | 10-15μm/H, 한 개의 성장 두께 ≥ 1.6 밀리미터의 성장율 |
| 단일 결정 품질 | 거의 육안 하에 어떤 결점 | |
| 진공 시스템 | 폭발 방식 | N2로 가득 차세요 |
| 최종 진공 급 | 더 좋은 than8×10-4Pa | |
| 진공 누설 비율 | ≤10-9pA.m3/s | |
| 압력 상승 | 24 시간 평균압력 상승은 더 덜 than1Pa/H 입니다 |
| 가스 질량 송풍 기구 | 정확도 | 2%-100%F.S.,inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| 가스 형태와 범위 | H2(1SLM),CH4(100SCCM),O2(10SCCM),N2(20SCCM) | |
| 샘플 스테이지 시스템 | 샘플 스테이지 지름 | 수냉식인 Φ60mm ; |
| 샘플의 조절 범위 테이블 |
0~15mm | |
| 공동형 플레이트 조절 범위 | 0~60mm | |
| 기판 온도 측정 | 적외선온도 측정 범위 |
600~1200C (적외선온도 측정) |
| 온도 제어 정확성 | 온도는 precision±5C를 제어합니다 ; | |
| 일정온도 지역의 제어범위 | 몰리브덴 platform≤30C의 각각 점의 온도차 | |
| 장치 인터페이스 | 주입구와 출구 수 | G1 " 외부 와이어 |
| 가스 연결 | 1/4 " VCR 외부 와이어 | |
| 배출 방전 인터페이스 | 3/4 " 외부 와이어 | |
| 전원 라인 | TB4506 | |
| 절연 저항 | ≥5MΩ | |
| 신뢰성 | 정상 상태 하에 연속적이고 안정적 작업 시간은 24H 이하이지 않을 것입니다 | |
| 전체 전력 공급 | 380VAC±5%/50Hz,3phase5wire,13kW | |
| 전체 냉각수 | 34L / 분이 연수를 정화하고 유입구 용수 온도는 20C±5C입니다 ;수압은 0.2~0.4MPa입니다 | |
| 차원 | ~1.95(L)x0.8(W)x1.90(H)m | |
